富士ケミカル株式会社

PVA精密洗浄ブラシ「ブラシシート、ブラシローラー」

アイオン株式会社製

  • シート
  • ローラー
  • 二次加工可能

PVA精密洗浄ブラシ「ブラシシート、ブラシローラー」

ブラシローラー・ブラシシートは、約150µmという、超微細気孔を有する突起部を持ち、PVAスポンジ特有のしなやかなソフトタッチにより、洗浄面を損傷することなくパーティクルを効率的に除去します。精密電子部品の洗浄材として幅広く採用されており、また、溶出成分かきわめて少ないSCLグレードを取り揃えるなど、高度なニーズに応えて、従来にない製品環境を展開しています。

特 長

  • 1.柔軟で弾力性のある円筒状突起部により、洗浄面に付着した微細パーティクルを効率的に除去します。もちろん、ワークを傷つけることはありません。
  • 2.クリーン水の使用のみで、充分な洗浄効果を得ることが可能です。そのため、高価なクリーニング液や薬液の使用を軽減し、排水による環境への負荷を抑えることができます。
  • 3.高気孔率の多孔質構造と、理想的な突起の配列設計によって、洗浄斑を解消し、汚染物質、およびクリーニング水の排水経路を確保。きわめてハイレベルな洗浄効果を実現します。
  • 4.クリーン設計、および専用製造ラインにより生産されるため、基材からの再汚染がなく、環境時代の要求に応えるクリーンな製品として、先端産業からも高い支持を受けています。

用 途

  • CMP後の洗浄
  • シリコンウエハー、液晶ディスプレイ用基板、フォトマスクの洗浄

基本物性

    測定条件等
平均気孔径(µm) 150 DRY
気孔率(%) 90 DRY
突起部 引張強度(kPa) 400 WET
突起部 引張伸度(%) 400 WET
耐温水性(℃) 60 -

基本物性の値は参考値であり、保証値ではありません。

 

清浄度 : SCLグレード

陽イオン ppb(μg/l) 陰イオン ppb(μg/l)
Na+ 5 CL- 50
Mg2+ 1 SO42- 20
Ca2+ 5    

浴比:10(対スポンジ重量比)
測定法:イオンクロマト

標準規格

標準規格

ブラシローラー

No 突起外径 ベース外径 内径 長さ
1 25 20 10 250
2 32 25 12 250
3 38 31 18 350
4 48 40 26 350
5 60 51 32 350
6 70 60 31 350
7 76 67 26 500
8 89 77 26 500

ブラシシート

No 突起部 厚さ
(突起部含む)
直径 長さ
1 160 260 7 5 8

ブラシシートは、ご希望の形状に加工することも可能です。目的・予算・納期など、ご相談の上、承ります。

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