研磨パッド「ベラトリックス」
不布織タイプ・スエードタイプの2種類有り、テープ加工・溝加工・砥粒孔加工等の二次加工も可能で、幅広い技術的要望にも柔軟に対応致します。
不織布タイプ
特殊ポリエステル繊維を使用した不織布タイプにポリウレタンを結合させた一次用硬質研磨パッド
【用 途】
- 優れた研磨精度
- ライフ特性の高性能化
スウェードタイプ
ポリウレタンで結合された不織布またはPETシートの上にNAP層を形成したファイナル用の研磨パッド
【特 長】
超精密な仕上げが要求される用途において最高の仕上げ面を実現
【用 途】
- シリコンウェハー
- アルミディスク
- ガラスディスク
- フォトマスク
- CMP
- ガラス
- 金属等の研磨
